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2021EDL재물조사 정리 파일, 전자소자연구실 재물.xlsm , 디스플레이공학트랙 재물조사 물품 목록.xlsx

 LAB장비, 계측기,  소형장비 펌프,  재료비로구입(자산 미등록기기), 512-1

오븐(핫플레이트,교반기 포함)

재물번호	제품명	모델명	회계전표일자	금액	위치	설비 관련 매뉴얼 등	관련 보고	참고 내용
	PECVD					Quote P5000, 080226 SPT quote	160426 PECVD 냉각수 탱크 누수발생
	RF match	RF MATCH 0010-09740		9,800,000				구입:11-09-09
	Sputter 2"					sputter frame, sputter_rack	160420 스퍼터4" 가스 메인 밸브 안 열림 4'' 스퍼터 로드락바의 isolation valve에 끼임
	Sputter 4"						160317 4inch 스퍼터 홈건_케이블 손상 교체 160420 스퍼터4" 가스 메인 밸브 안 열림
	Sputter Room 512			견적서		스퍼트시스템전체도		설비사용법 동영상, 2
	Thermal evaporator					도면, 견적서, 방착판견적서
	광파이버(모노크로미터용)					견적 1m, 견적 2m #78150 beam splitter holder와 호환가능한 beam splitter
	노광기(마이다스)						160419 노광기 수은 램프케이블교체
	소형 Furnace
	RIE						RIE Rotary 펌프 진공 안됨수리 보고
201700217473	산업용로보트	SM-300SX-3A-SET	20180119	15,169,000	고려대 세종캠퍼스			스트레처블 디스플레이를 위한 20%이상 신축성을 갖는 백플레인, 발광화소용 소재ㆍ소자ㆍ공정 원천 기술 개발(2019.01.01-2019.12.31)
201700217472	디스펜서	MPP-3-73-1	20180119	22,000,000	고려대세종캠퍼스			스트레처블 디스플레이를 위한 20%이상 신축성을 갖는 백플레인, 발광화소용 소재ㆍ소자ㆍ공정 원천 기술 개발(2019.01.01-2019.12.31)