PECVD 냉각수탱크 누수_장비수리 보고서 - 16.04.26.hwp

장비수리 보고

PECVD 냉각수 탱크 누수발생

항목	내용	비고
현상	PECVD의 냉각수 라인의 저장탱크에서 누수 발생 (쇼트 위험)	Sptechnology 김재용 010-6300-6206
원인	냉각수 탱크 In 라인 부위 부식, 마모
해결	1. 업체에 문의 후 In 라인과 Out 라인을 직접적으로 연결하는 해결책 제시 냉각수 탱크는 중도에 물을 저장만 하는 역할로 장비가 가동될 때 냉각수가 흐르는 데는 문제가 없음 2. 각 라인 분해 후 적절한 사이즈의 연결 부품 탐색 가스배관용 부품과 구별해야함 3. male and male 커넥터를 이용하여 각 라인 직접 연결 4. 플로우미터와 레귤레이터 조정
사후처리	PECVD가 동작할 때 또 다른 누수부위가 없는지 수시로 체크

보고일: 16.04.26  보고자: 홍민택

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