RIE Rotary 펌프_장비수리 보고서 - 16.04.27.hwp

장비수리 보고

RIE 장비 Rotary 펌프 진공 안됨

항목	내용	비고
현상	RIE 장비의 진공이 약 240mTorr 부터 압력이 더 내려 가지 않고 오히려 상승함
원인	오래전부터 Rotary 펌프에서 조금씩 새어나오던 오일이 지난 주말 간 급격히 흘러나왔고, 내부 오일이 고갈됨
해결	1. RIE 장비 컨트롤러에서 모든 벨브와 펌프 가동 중지 2. 펌프의 오일 게이지 확인 3. 펌프 상단의 오일 주입구를 열어 오일을 적정수준까지 주입 오일 주입구 개방 시 오일이 펌프의 배출 열에 의해 눌러 붙어있기 때문에 상황에 따라 다양한 방법을 이용할 것 4. 장비를 재가동시켜 진공압력이 잘 내려가는지 확인
사후처리	오일이 새는 원인은 펌프 아래 부분의 실링에 문제가 생긴 것으로 추정되며, 추후 자체수리를 하거나 업체의 도움을 받아 수리할 예정 4“ 스퍼터의 Rotary 펌프에서도 오일이 새어나오는 현상 발견(점검요망)

보고일: 16.04.27  보고자: 홍민택

Hoseo Univ.  EDLAB Since 2006