4inch 스퍼터 가스메인벨브 안열림_장비수리 보고서 - 16.04.20.hwp

장비수리 보고

4'' 스퍼터 가스 메인 밸브 안열림

항목	내용	비고
현상	가스 주입 시 메인벨브가 열리지 않음
원인	Isolation의 Close 센서가 떨어지면서, Isolation이 닫히지 않은 것으로 인식
해결	1. Error 창에서 I/V Close Error 경고 창 확인 2. Isolation의 Open/Close 센서의 위치 재조정 실린더 내의 피스톤의 위치에 따라 앞뒤로 Open 센서와 Close 센서가 부착됨. 부착된 센서는 인식되면 빨간 등이 들어오기 때문에 피스톤의 위치를 알 수 있음 3. Error 창에서 경고가 제거됨 4. 다시 가스를 넣어보고 아래 사진과 같이 가스 메인벨브가 정상가동 되는지 확인 정상가동 되지 않는다면 아래 공압 컨트롤러부터 챔버까지 라인을 따라가며 어느 부분 까지 공압이 나오는지 점검. 정상가동 된다면 메뉴얼로 Isolation을 개방하고 Open 센서도 적절한 위치해 있는지 확인 할 것
사후처리	Isolation의 센서가 떨어지는 원인은 지난번 Isolation을 수리하면서 센서 부착 부품을 망실한 관계로 현재 테이프를 사용하여 임시보수를 해둔 상태이기 때문에 센서 부착 부품을 다시 구매할 필요 있음

보고일: 16.04.20  보고자: 홍민택

Hoseo Univ.  EDLAB Since 2006