4inch 스퍼터 홈건_케이블 손상 교체 장비수리 보고서 - 16.03.17.hwp

장비수리 보고

4inch 스퍼터 홈건 케이블 손상 교체

항목	내용	비고
현상	RF 매쳐와 제너레이터까지 수리완료 했음에도 불구하고 플라즈마가 발생하지 않음.	아텍 이재승 010-9043-1898 김남국 010-8756-8506
원인	플라즈마 테스트를 통해 문제점이 건에 있음을 확인하고 건 분해 결과 케이블 손상 확인 (다른 건에서는 플라즈마가 발생함)
해결	일반적으로 DC라인보다 RF라인이 다른 종류의 케이블을 사용하며 온도가 더 높아지지만, 너무 뜨거워지면 전류 흐름에 문제가 발생한 것으로 인식 2. 업체에 문의하여 출장수리 및 건 배송 협의--> 케이블 교체 수리
사후처리	사진에 보이는 도넛 형 절연체의 관리가 중요 건 홀더를 적절한 간격으로 씌워 사용하며 절연막에 금속 등이 증착되지 않게 관리할 것

보고일: 16.03.17  보고자: 홍민택

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