4inch 스퍼터 로드락바 아이솔레이션 valve에 끼임_장비수리 보고서 - 16.05.02.hwp

장비수리 보고

4'' 스퍼터 로드락바의 isolation valve에 끼임

항목	내용	비고
현상	로드락바가 Isolation(메인챔버와 로드락챔버의 경계) 밸브에 끼임
원인	샘플 탈착 시 로드락바가 ioslation valve를 빠져나오기 전에 작업자가 vent 를 시켰기 때문이고 vent 가 되면 isolation valve 가 닫히기 때문이다.
해결	1. 문제의 확산과 인력의 안전을 위해 Isolation의 공압선 제거 (close는 공압이 매우 강하게 흐르는 상태이므로 케이블타이 등을 이용해서 봉쇄) 2. M/V와 R/V를 모두 Off 시킨 후 vent 시켜 대기압으로 승압 3. Rotation arm을 Target 2에 위치시킨 후 메인챔버와 로드락챔버 모두 오픈하여 상태 확인 4. Isolation을 강제로 열어 아래의 홈에 스펀지 등을 받쳐 고정시키고 로드락바의 홀더 제거-공압선을 제거했다고 해도 Isolation의 무게가 상당하므로 안전을 위해 손을 집어넣지 말 것 5. 사진에 표기된 부분 전체 분해해서 위치 재조정 [홀더 받침대만 제거 시 센서가 로드락바의 위치를 인식하지 못하기 때문에 Isolation을 동작시킬 수 없고 Isolation이 닫힌 상태이거나 챔버가 대기압일 때는 로드락바를 동작시킬 수 없는 상태이기 때문에 전체 분해해서 다시 위치를 바로잡아줄 수 밖에 없음] -아래의 고정쇠막대가 가장 안쪽으로 당겨진 상태에서 홀더 받침대의 장착부위가 고정쇠막대의 빨간 선 표기부분까지 위치해야함 -센서를 동작시키기 위한 금속이 Out limit 센서까지 위치해야함 6. 적절한 위치가 되면 다시 조립한 후 공압선을 연결하고 장비 동작 테스트
사후처리	홀더 받침대의 고정나사가 마모되어 흔들리기 때문에 틀어진 방향을 바로잡고 나사를 단단하게 고정함.

보고일: 16.05.02  보고자: 홍민택

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