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장비 수리 보고서

년 월 일 보고자 제목 기타
2016 3 17 홍민택 160317 4inch 스퍼터 홈건_케이블 손상 교체  
2016 4 19 홍민택 160419 노광기 수은 램프케이블교체  
2016 4 20 홍민택 160420 스퍼터4" 가스 메인 밸브 안 열림  
2016 4 26 홍민택 PECVD 냉각수 탱크 누수발생  
2016 4 27 홍민택 RIE Rotary 펌프 진공 안됨  
2016 5 2 홍민택 4'' 스퍼터 로드락바의 isolation valve에 끼임  
           
           
           
           

 보고서

년 월 일 보고자 제목 기타
 2018 7  8   한예린   LCR 미터 사용시 유의 사항  
           
           

 

 

출장보고서

작성일 작성자 출장목적 출장내용
2011.10.26 배병성 IMID2011 학회 참석 학회 기술 정보 입수 및 발표