EGFET동영상
TR type
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| 1970 MOSFET Technische Hogeschool, Netherlands |
Development of an Ion-Sensitive Solid-State Device for Neurophysiological Measurements | MOSFET의 W/L=1mm/100um
게이트 절연막: SiO2, 두께 200 nm. 소스/드레인/하부 전극 등이 용액과 접촉하지 않게 epoxy resin 으로 감쌈. Vds=0.1V, 드레인 전류 path 에 10 옴 저항을 달고 10 옴 저항의 전압을 측정하여 전류를 구함(i=V/R) pH를 일정하게 하고 Na+ 이온 농도 증가시키며 전류 측정. |
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| 1998 University of Southampton |
Thick film silver–silver chloride reference electrodes | Ag/AgCl 기준 전극을 사파이어 기판(5cm x 5cm)
위에 스크린 인쇄로 제작
제작된 샘플과 상용 기준 전극을 순수에 담그고 KCl용액을 떨어뜨려 Cl 농도를 변화시키며 전압 측정
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| 1998 MOSFET W/L=1mm/2mm Gate open: 10u x 340 u Kyushu, |
Taste Sensing FET (TSFET) - 電気学会論文誌.
Membrane: lipid+PVC Ref.:
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- The membrane of lmm×2mm size was pasted on the gate using 1% PVC/THF solution.
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| 2004 pH sensor MOS Japan, Tohoku U. |
Development of a Wide Range pH Sensor based on
Electrolyte-Insulator-Semiconductor Structure with
Corrosion-Resistant Al2O3-Ta2O5 and Al2O3-ZrO2 Double-Oxide Thin Films Membrane: Ta2O5, ZrO2 ref: Ag/AgCl~3.33 M KCl |
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 pH에 따라 CV
커브 이동 |
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| 2008 Taiwan |
Preparation and characteristics of ruthenium dioxide for pH array sensors with real-time measurement system | RuO2 pH 멤브레인 제작. MOFET의 게이트에 선으로 연결하여
사용.
pH 에 따른 MOSFET 전류 측정 (Vds=0.2 V) |
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| 2014 pH sensor Dual Gate Poly Si TFT Taiwan National Chiao Tung U.
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Effect of Sensing Film Thickness on Sensing Characteristics of Dual
-Gate Poly-Si Ion-Sensitive Field-Effect-Transistors Membrane: TEOS oxide PECVD Ref.: a commercial Ag/AgCl reference electrode Microfluidic channel: PDMS |
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| 2015 Jhejian U. China
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Recent achievements in electronic tongue and bioelectronic tongue as taste sensors |
 InN-ISFET |
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| 2018 pH sensor Dual gate IGZO TFT W/L=60/15 Taiwan, National Ciao Tung U. |
High-Performance Double-Gate -InGaZnO ISFET pH Sensor Using a HfO2
Gate Dielectric Membrane: 40-nm HfO2 Reference Electrode:A commercial Ag/AgCl electrode SU-8
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 열산화 실리콘 웨이퍼를 bottom gate 로 이용 |
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| 2018 pH sensor Dual gate IGZO TFT Korea, Kwang Woon U. |
Membrane: SnO2 Ref: .a ceramic-plug junction (Horiba 2086A-06 T) filled with KCl and AgCl saturated solutions Reservoir: PDMS |
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